Артикул: p7577685
Характеристики
- Издательство: Юрайт
- Серия: Профессиональное образование. Юрайт
- Год издания:2014
- Жанр: Технические науки
- ISBN:978-5-9916-4292-7
- Переплет: Твёрдый переплёт
- Формат: 134x206 мм
- Общий тираж: 40
- Вес: 289 г
Описание
Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. .Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. .Для студентов, обучающихся по инженерно-техническим направлениям и специальностям, а также для аспирантов, научных работников и инженеров. . . . . . . . . . . . . . . . . .