Родионов Ю.: Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Артикул: p6466792
Осталось 3 шт.
20 раз
купили
2089
p.
Характеристики
- Издательство: Лань
- Серия: Высшее образование
- Год издания:2021
- Жанр: Радиоэлектроника
- ISBN:978-5-8114-5788-5
- Формат: 171x241 мм
- Вес: 410 г
Описание
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».