Артикул: p6474629
Последний экземпляр
22 раза
купили
1409
p.
Характеристики
- Издательство: Инфра-Инженерия
- Год издания:2022
- Жанр: Радиоэлектроника
- ISBN:978-5-97-290846-2
- Переплет: Твёрдый переплёт
- Формат: 153x216 мм
- Вес: 360 г
Описание
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».