Артикул: p6474629

Последний экземпляр
22 раза купили
1409  p.

Характеристики

Описание

Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.

Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».