Артикул: p6428645
Последний экземпляр
21 раз
купили
1149
p.
Характеристики
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана
- Год издания:2019
- Жанр: Радиоэлектроника
- ISBN:978-5-70-384864-7
- Формат: 165x235 мм
- Общий тираж: 100
- Вес: 209 г
Описание
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. .Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».