Хорин И.: Технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Артикул: p6414832
Осталось 2 шт.
20 раз
купили
4089
p.
Характеристики
- Издательство: IPR MEDIA
- Серия: Университетский учебник
- Год издания:2018
- Жанр: Радиоэлектроника
- ISBN:978-5-4486-0210-8
- Формат: 152x215 мм
- Вес: 470 г
Описание
В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. .Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». . .