Артикул: p6414832
Осталось 2 шт.
20 раз
купили
4089
p.
Характеристики
- Серия: Университетский учебник
- Год издания:2019
- Жанр: Радиоэлектроника
- ISBN:978-0-01-584050-1
- Переплет: Твёрдый переплёт
- Формат: 152x215 мм
- Общий тираж: 1000
- Вес: 469 г
Описание
В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. .Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». . .