Агеев О., Коноплев Б., Авдеев С. и др.: Нанотехнологии в микроэлектронике
Артикул: p6441358
Купили 20 раз
О товаре
В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки.
.Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологий в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля.
.
Характеристики
- Автор:
- Агеев О., Коноплев Б., Авдеев С. и др.
- Раздел:
- Радиоэлектроника
- Издательство:
- Наука
- ISBN:
- Год издания:
- 2019
- Количество страниц:
- 511
- Формат:
- 171x244 мм
- Вес:
- 1.00 кг
Отзывов ещё нет — вы можете быть первым.