Официальный магазин издательской группы ЭКСМО-АСТ
Доставка
8 (800) 333-65-23
Часы работы:
с 8 до 20 (МСК)

Цветков Юрий Борисович: Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2

Артикул: p6428645

Купили 21 раз

Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 - фото 1
Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 - фото 2
Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 - фото 3

О товаре

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. .Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

Характеристики

Издательство:
МГТУ им. Н.Э. Баумана
ISBN:
Год издания:
2019
Количество страниц:
122
Формат:
165x235 мм
Вес:
0.21 кг
Последний экземпляр
1 149 ₽

Отзывов ещё нет — вы можете быть первым.

Дарим до 50 бонусов за отзыв

Войдите или зарегистрируйтесь, чтобы получить скидку 30% на первый заказ